自石墨烯問(wèn)世以來(lái),具有原子級(jí)厚度的二維材料家族(如過(guò)渡金屬硫化物、黑磷、六方氮化硼等)因其電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性質(zhì),引發(fā)了全球研究熱潮。然而,如何實(shí)現(xiàn)這些材料的高質(zhì)量、大面積、可控制備,是推動(dòng)其從基礎(chǔ)研究走向?qū)嶋H應(yīng)用所面臨的核心挑戰(zhàn)與前沿領(lǐng)域。
目前,二維材料的制備主要遵循“自上而下”和“自下而上”兩種技術(shù)路線,各有特點(diǎn)與應(yīng)用場(chǎng)景:
一、自上而下法:機(jī)械剝離與液相剝離
1、機(jī)械剝離:使用膠帶從塊體晶體上反復(fù)剝離,可獲得本征質(zhì)量高的二維材料薄片,但尺寸小、產(chǎn)量極低,主要用于基礎(chǔ)物性研究。
2、液相剝離:將塊體材料在特定溶劑中通過(guò)超聲或剪切力分散成層,可實(shí)現(xiàn)較大產(chǎn)量,適用于復(fù)合材料、漿料制備,但所得片層厚度不均且缺陷較多。
二、自下而上法:化學(xué)氣相沉積
這是實(shí)現(xiàn)大面積、高質(zhì)量二維材料制備的最有前景的路徑。其原理是在高溫襯底(如銅箔、藍(lán)寶石)上,通過(guò)前驅(qū)體氣體(如甲烷、金屬有機(jī)源)的化學(xué)反應(yīng),使原子在襯底表面“原位”成核、生長(zhǎng)為二維薄膜。

CVD技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于可制備晶圓級(jí)單晶或高質(zhì)量多晶薄膜,可直接與現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝兼容,為構(gòu)建未來(lái)電子器件奠定了基礎(chǔ)。先進(jìn)的CVD技術(shù)還能通過(guò)等離子體輔助,有效降低生長(zhǎng)溫度,拓寬襯底選擇范圍。
盡管取得了顯著進(jìn)展,二維材料的可控制備仍面臨諸多挑戰(zhàn):
1、大面積單晶制備:如何在非單晶襯底上實(shí)現(xiàn)大尺寸、無(wú)晶界的單晶薄膜生長(zhǎng)是關(guān)鍵難題。
2、層數(shù)精確控制:實(shí)現(xiàn)特定層數(shù)(尤其是單層)的均勻、可控生長(zhǎng)仍是研究熱點(diǎn)。
3、無(wú)損轉(zhuǎn)移技術(shù):將生長(zhǎng)的二維材料高質(zhì)量地轉(zhuǎn)移到目標(biāo)功能性襯底上而不引入損傷或污染,是器件制備的瓶頸。
4、新材料的開(kāi)發(fā)與規(guī)?;禾剿鞒組oS?的新穎二維材料,并發(fā)展其可擴(kuò)展的制備方法。
二維材料制備技術(shù)是連接其神奇物性與實(shí)際應(yīng)用的橋梁。當(dāng)前,該領(lǐng)域正從初期的探索走向精密的控制,從實(shí)驗(yàn)室的小樣品邁向產(chǎn)業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。每一次制備技術(shù)的突破,都將為二維材料在下一代電子、光電子、柔性器件等領(lǐng)域的應(yīng)用打開(kāi)新的大門(mén)。