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PECVD系統(tǒng)

智能型簡易版回轉(zhuǎn)型

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BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統(tǒng)

更新時間：2025-09-05

型號：BTF-1200C-S-PECVD

瀏覽量：4731

微型PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用，同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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智能型三溫區(qū)PECVD

更新時間：2025-09-05

型號：

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智能型三溫區(qū)PECVD產(chǎn)品簡介：本設(shè)備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用，同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng)

更新時間：2025-09-04

型號：

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等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng) 1.爐內(nèi)溫度場的均勻分布 2.可自行根據(jù)不同溫度曲線 3.電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品高性能、免維護
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BTF-1200C-SSL-PECVD雙爐PECVD

更新時間：2025-09-04

型號：BTF-1200C-SSL-PECVD

瀏覽量：2109

雙爐PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計系統(tǒng)（進口流量計），真空機組（進口真空泵），PE射頻電源（進口射頻源），溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時擴大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實驗要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。
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PECVD-III-500A-D210智能型PECVD系統(tǒng)

更新時間：2025-09-05

型號：PECVD-III-500A-D210

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PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。
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BTF-1200C-R-PECVD臺面式等離子體增強真空回轉(zhuǎn)爐

更新時間：2025-09-05

型號：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：564

臺面式等離子體增強真空回轉(zhuǎn)爐BTF-1200C-R-PECVD，該設(shè)備是全自動Plasma增強PECVD系統(tǒng)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下進行實驗，PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對均勻等效，有效的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉料的燒結(jié)更均勻。
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PECVD-500A-D智能型PECVD系統(tǒng)（含壓力控制系統(tǒng)）

更新時間：2025-09-05

型號：PECVD-500A-D

瀏覽量：2367

智能PECVD設(shè)備是目前最新型的一款設(shè)備，將所有的控制部分集為一體，此款設(shè)備是我司于2013年研發(fā)成功的，可配備PE射頻電源，將CVD系統(tǒng)升級為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體，可使反應(yīng)更加充分。同時等離子體起增強的作用，從而很大程度上優(yōu)化實驗的工藝條件。
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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

更新時間：2025-09-05

型號：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：2345

等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) 主要特點我司研制的回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
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