迷你型CVD系統(tǒng)氣路系統(tǒng)參數(shù)

 質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選）

 準確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復精度：±0.2%

 響應(yīng)時間：≤10sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 最大壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 抽速：10m3/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220v 50hz

 電機功率：0.4kw  

 進排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機轉(zhuǎn)速：1440rpm

 工作環(huán)境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計參數(shù)：

 1.配用規(guī)管： 電阻規(guī)，

 2.測量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

 3.測量路數(shù)： 1路

 4.控制范圍： 5×10³ ～5×10 ^-1 Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W